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第08版:半导体

日企研发出 全球最大尺寸金刚石基板

本报讯 日本精密零部件制造企业Orbray开发出了适用于电子产品的全球最大级别金刚石基板,尺寸为2厘米见方。该公司表示,今后将增大至2英寸(约5厘米)直径,争取在2026年实现面向功率半导体及量子计算机等用途的产品化。

这项研究成果已于3月14日在应用物理学会春季学术演讲会上发表。金刚石的晶体结构是以碳原子为顶点的立方晶格扩展。基板表面主要有两种类型,一种由相当于晶体结构侧面的“(100)面”构成,另一种由斜截面“(111)面”构成。斜截面类型虽然适用于电子等工业应用领域,但存在尺寸难以增大的问题。

Orbray公司自主开发出了使金刚石晶体在“特殊蓝宝石基板”上生长的技术。尽管该公司并未公布这项技术的详情,但被认为是“台阶流动生长法(step-flowgrowth)”的改良版,该方法通过在略微倾斜的蓝宝石基板上生长晶体,来减轻施加在金刚石晶体上的应力。(姬晓婷)

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