本报讯 3月26日，在SEMICON China 2025展会上，北方华创（Naura）正式宣布进军离子注入设备市场，并推出首款离子注入机Sirius MC 313。这一战略举措标志着该公司在半导体核心装备领域完成关键布局，为国内半导体设备在高端市场的突破注入新动能。

作为芯片制造的关键环节，离子注入设备虽不如光刻机般备受瞩目，却在半导体制造中扮演着不可或缺的角色。该设备通过将特定元素的带电离子以精确控制的能量注入半导体材料，实现对材料电学性能的精准调控。其技术流程包括离子源生成、电场加速、精确注入等关键步骤，工艺复杂度高，技术壁垒显著。据国际半导体产业协会（SEMI）数据，2024年全球离子注入设备市场规模已达276亿元，预计2030年将增长至307亿元，年复合增长率达2.1%；其中，国内市场空间约160亿元，潜力巨大。

北方华创此次的突破填补了国内高端离子注入设备的空白，随着Sirius MC 313的推出，公司将成为全球少数具备离子注入设备量产能力的供应商之一，为国内半导体产业链提供重要支撑。行业专家指出，北方华创的此次布局将显著提升我国在关键设备领域的创新能力，为下游芯片制造企业提供更多元化的设备选择，助力国内半导体产业向高端化迈进。（宣 文）