本报讯 记者谷月报道:近日,记者从浙江大学官网获悉,该校研究团队研发的微米和纳米钙钛矿LED(micro-PeLED和nano-PeLED),突破LED尺寸新极限,达到90纳米,这是目前已知最小像素尺寸的LED,相关研究成果于英国当地时间3月19日发表于国际权威学术期刊《自然》。
据悉,该技术由浙江大学光电科学与工程学院/海宁国际联合学院教授狄大卫和研究员赵保丹团队共同研发,成果先进,其中最小LED尺寸仅为90纳米的纳米钙钛矿LED,为迄今为止公开报道的最小LED像素。
“降尺度”在电子科学中特指缩小基本器件尺寸的过程,引领着计算机科学、信息显示和人机交互等领域的技术革命。Micro LED就是一种“降尺度”的LED,通过缩小LED的尺寸,可实现超高清、超高精度的光电显示。
狄大卫介绍,目前世界最先进的显示技术是基于Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极管,可实现超高清、超高精度的光电显示。但受限于复杂的工艺技术,微型发光二极管制造成本极高,当像素尺寸减小到约10微米或更小时,效率会急剧下降。
从Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极管的微型化研究中获得启发,狄大卫团队开始研制用于未来显示技术的更小的钙钛矿LED,于2021年首次提出“微型钙钛矿LED”概念,并获得国家与国际专利,但用传统光刻工艺制造微型钙钛矿LED会破坏钙钛矿材料。
为此,研究团队设计出一套局域接触工艺,通过光刻制作的图案化窗口确保像素区域远离电极边缘,能够制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED,同时保证了LED的发光效率。