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第08版:半导体

2024年值得期待的半导体技术

本报记者 沈丛

即将到来的2024年,一些新的半导体技术将取得重要突破,例如背面供电芯片、硅光子超高速芯片、量子芯片、光刻胶金属氧化物抗蚀剂等。虽然这些技术都是半导体细分领域的微创新,但它们的一小步可能给整个半导体产业链带来重大改变。2024年有很多不确定性,但也将是充满机会的一年。

背面供电芯片

2024年上半年,英特尔将在Intel 20A制程节点首次采用背面供电技术。紧随其后的是台积电和三星。台积电将在2nm工艺上采用背面供电解决方案。三星背面供电技术BSPDN将在2nm或者1.4nm工艺上采用。

传统的正面供电技术要求信号和电源线路在晶圆正面,对金属层引脚间距有要求,限制了芯片面积微缩。为使芯片制程继续缩小,背面供电技术走进了人们的视野,该项技术能够将信号和电源线路分离,将电源线路转移到背面进行优化,从而提供更高效的电源供应、更低温度和更灵活的芯片布局。采用背面供电芯片一经推出,将吸引各大芯片制造商的关注和投入,可能会引发新一轮先进制程的竞争。

高数值孔径光刻机

ASML将在2024年推出高数值孔径(High NA EUV)光刻机,引发各大先进制程玩家争相抢购。英特尔已经订购了第一台ASML NA EUV光刻机的实验室版本,正在评估是否用于Intel 18A制程的量产。此外,台积电和三星都在争相购买正式版本的High NA EUV光刻机,用于2nm及以下制程。

High NA EUV光刻机能使光学系统的数值孔径提升至0.55,达到比传统掩模版更高的精度和光刻速度,是生产2nm及以下制程节点的关键设备。因此,High NA EUV光刻机的正式推出,为先进制程节点的进一步下探提供了技术基础。

然而,先进制程企业在使用High NA EUV光刻机的过程中,必须面对成本和耗电量的挑战。在1nm之前,采用高数值孔径单次曝光的成本会高于采用低数值孔径的多次曝光。此外,High-NA EUV光刻机对于光源的需求大幅提升,耗电量将从1.5兆瓦提升到2兆瓦。虽然先进制程“三大家”争先购买High NA EUV光刻机,但具体何时采用,还是未知数。

2nm EUV光刻胶MOR

2nm EUV光刻胶金属氧化物抗蚀剂(MOR)的主要生产商Inpria 2024年MOR的产能将达1万加仑,可以满足3000万片晶圆的曝光,其MOR光刻胶在2022年整年的产能仅为2000加仑。

2nm制程领域所使用的 EUV光刻胶主要有两种,第一种是继续采用7nm EUV光刻机的化学扩增抗蚀剂(CAR),第二种是采用新的金属氧化物抗蚀剂(MOR)。随着英特尔、台积电、三星等半导体巨头开始采购能实现2nm工艺的ASML High NA EUV光刻机,2nm EUV光刻胶MOR也将迎来新一轮的采购潮。

量子芯片

量子芯片是实现量子计算的核心部件,也成为众多AI企业关注的焦点。IBM计划在2024年实现100量子比特的实际应用质量达到电路深度水平。为了实现这一目标,IBM将在美国、加拿大、日本和德国建立8个量子计算中心。IBM希望在2024年年底,实现每个Heron处理器在单一量子电路中能够执行5000次操作。

虽然量子芯片被视为处理海量数据的新路径,但由于其运行环境过于苛刻,距离大规模应用尚需时日。但是,随着AI技术的不断演进,业内对于量子芯片的需求也越发高涨。数据显示,2024年,人工智能市场将飙升至惊人的5543亿美元,较高的市场需求或将带动量子芯片的新一轮快速发展。

硅光子超高速芯片

台积电瞄准2024年即将到来的硅光子超高速芯片商机,已经组建了一支约200人的研发团队,并将携手博通、英伟达等大客户共同开发硅光子技术、光学共封装等新产品。该技术适用于45nm到7nm的芯片制程,预计2024年下半年迎来大单。

硅光技术的发展可分为三个阶段:第一阶段是用硅做出光通信底层器件,达到工艺的标准化。第二阶段是集成技术从耦合集成向单片集成演进,实现部分集成,再把这些器件通过不同组合构成不同的芯片。第三阶段是光电一体技术融合,实现光电全集成化。目前硅光技术已经发展到了第二个阶段,预计2024年会出现爆发式增长。

集成NPU的处理器

作为AI PC的算力中枢,集成了NPU计算单元的处理器将在2024年大规模推向市场。NPU是专门用于深度学习计算的芯片,具有优异的计算效率和能耗表现,能够在短时间内完成大规模的神经网络计算任务。搭载了NPU计算单元的处理器能够提升计算机的能效比和计算速度。

12月14日,英特尔发布内置NPU的电脑处理器——第14代酷睿Ultra移动处理器。英特尔表示,2024年将有230多款机型搭载内置NPU的第14代酷睿Ultra移动处理器面市。苹果将在2024年发布搭载M3处理器的MacBook,并透露其M3处理器的NPU性能相较于M1提升了60%。AMD首次加入独立NPU的锐龙8040处理器将于2024年年初正式发布,AMD表示,加入NPU后处理器的大语言模型性能提升了40%。

2023-12-29 本报记者 沈丛 1 1 中国电子报 content_9121.html 1 2024年值得期待的半导体技术 /enpproperty-->