本报讯 近日，韩国显示设备企业Olumma terial正在以EST（Electroforming on Silicon Template硅板电镀）方式，开发分辨率高达5000 PPI的OLEDoS（硅基OLED）超精密金属掩模版（FMM）。

业内人士推测，Olumma terial所说的EST方式可能与韩国另一家显示设备企业APS生产FMM的方法类似——先在硅基板上涂覆因瓦合金（殷钢），然后使用光刻和干法蚀刻来制作FMM的图案，一旦图案形成，硅就会被蚀刻掉，留下FMM成品。

该技术采用芯片生产所使用的光刻技术，因此，可以精确地蚀刻FMM，形成超极细小且规整的空洞，这也是实现OLEDoS超高PPI的关键。

2023年12月，APS宣布已使用该方法开发出可生产3000PPI OLEDoS的FMM。如今，Olumma terial有望借此开发出分辨率达5000PPI的OLEDoS FMM，以更好地满足近眼显示产品的高分辨率的需求，提升近眼显示产品的沉浸感。 （谷 月）