本报讯 近日,韩国显示设备企业Olumma terial正在以EST(Electroforming on Silicon Template硅板电镀)方式,开发分辨率高达5000 PPI的OLEDoS(硅基OLED)超精密金属掩模版(FMM)。
业内人士推测,Olumma terial所说的EST方式可能与韩国另一家显示设备企业APS生产FMM的方法类似——先在硅基板上涂覆因瓦合金(殷钢),然后使用光刻和干法蚀刻来制作FMM的图案,一旦图案形成,硅就会被蚀刻掉,留下FMM成品。
该技术采用芯片生产所使用的光刻技术,因此,可以精确地蚀刻FMM,形成超极细小且规整的空洞,这也是实现OLEDoS超高PPI的关键。
2023年12月,APS宣布已使用该方法开发出可生产3000PPI OLEDoS的FMM。如今,Olumma terial有望借此开发出分辨率达5000PPI的OLEDoS FMM,以更好地满足近眼显示产品的高分辨率的需求,提升近眼显示产品的沉浸感。 (谷 月)