根据MEMS的产业特点，以及中国MEMS产业的现状、特点和发展趋势，对我国MEMS产业发展提出以下政策建议。

一是借鉴集成电路经验，强化政府基金支持。产业投资基金的成立有利于促进高科技产业和新兴产业的发展。产业投资基金具有风险共担、收益共享的优势，是支持科技事业发展，提高产业领域的科技含量，实现经济集约化发展的有效途径。MEMS产业可借鉴集成电路产业投资基金的相关经验，强化政府引导，积极联合各界社会资本，设立MEMS产业投资基金，除了鼓励MEMS产业创新之外，还应该在MEMS设计、工艺方面加大投入。

二是打造产学研用服务平台，助力产业创新发展。提升本土中试公共服务平台承载能力，建设智能传感器创新中心、测试中心等平台，支撑本土技术产业创新发展。推动并联合企业、大专院校、科研院所、行业协会、支撑机构，成立产业联盟；积极开展关键基础技术联合研发、专利运营、标准制定、知识产权保护等工作，建立标准化工艺库，提升工艺通用性。

三是完善并优化产业生态，积极推动产业链协同升级。一方面，积极提升本土MEMS传感器产业配套能力，推动新型敏感材料、设计分析软件、核心装备、传感器数据融合等技术的研发和产业化。另一方面，统筹产业链上下游资源，强化产业链上下游合作，增强产业协同发展能力；建立研发与终端消费产品一体化的协同交互发展体系，形成以技术开拓市场、市场促进技术能力提升的循环发展模式。

四是加强高校人才培养建设，鼓励企业与高校合作培养。搭建高校和企业联合培养人才的模式，支持建立MEMS产学研用育人平台；在有条件的高校建设跨学科的MEMS综合人才培养基地，培养复合型人才；鼓励和支持国内MEMS制造商设立研发激励基金，逐步建立研发设计团队，建立与科研院所人才交流与联合培养长效机制，促进研发、工艺难题上行和科研成果应用下行，打通科研院所科技成果转化通道。

根据中国MEMS企业发展的现状、特点，以及市场热点和技术趋势，对我国MEMS企业发展提出以下建议。

一是加强技术合作，攻克关键核心技术。充分利用国内外创新资源，开辟多元化合作渠道，精准选择合作领域，加强与高等院校、科研院所等科技交流合作，强化创新伙伴关系。开展设计、制造、封装工艺技术研发，从基础技术层面提升产品核心竞争力，同时积极布局面向未来的传感器前沿技术，逐步构建高水准技术创新体系。

二是面向智慧产业，提升应用规模与水平。面向物联网智慧产业的热门应用领域，从核心技术、解决方案等层面着力提升自身产品的竞争力，推广行业应用。推进多功能传感器集成化、智能化发展，提升一体化解决方案的供给能力，解决行业痛点。

三是推进产业合作，提升定制化水平。为适应市场的多样化需求，MEMS传感器的生产制造呈现定制化程度高、制程控制精、材质特异性强等特点，对产业链上下游的协同制造能力要求较高。国内设计、中试、制造企业应建立紧密合作关系，加速新设计、新工艺导入，缩短产品转化周期。此外，下游大型集成应用厂商通过商业合作、投资入股、整合并购等方式积极参与MEMS传感器的研发与制造，提升产品的集成化、智能化水平。

四是注重人才引进，营造良好的人才环境。MEMS属于人才密集型行业，抓好人才培养、引进人才、留住人才是关键；完善人才引进、培养和激励的制度体系，营造一个人尽其才、人才辈出的良好企业文化环境；设立“人才专项资金”，用于支持和鼓励人才的引进、培养和奖励。