本报讯 应用材料公司日前宣布其在材料工程方面取得重大突破，该技术可大幅提升大数据和人工智能时代的芯片性能。

过去，把少量易于集成的材料根据经典的摩尔定律来微缩加工就可以改善芯片性能、功耗和面积/成本（PPAC）。诸如钨和铜之类的材料已无法在10nm代工节点以下进行微缩，因为它们的电学性能已达到晶体管通孔和本地互连的物理限制。这已经成为无法发挥FinFET晶体管全部性能的主要瓶颈。钴消除了这一瓶颈，但也需要在工艺系统上进行策略的改变。随着业界将器件结构微缩到极限尺寸，材料的性能表现会有所不同，因而必须在原子层面系统地进行工程，通常需要在真空环境下进行。

为了能够在晶体管接触和互联时使用钴作为新的导电材料，应用材料公司已在Endura平台上整合了多个材料工程步骤：预清洁、PVD、ALD以及CVD。此外，应用材料公司还推出了一套集成的钴套件，其中包括Producer平台上的退火等技术，大幅度提升了性能。