本报讯 5月21日上午，在上海浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（以下简称“华虹六厂”）实现首台工艺设备——光刻机搬入，标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。

自2016年12月30日开工以来，经过16个半月的努力，目前主厂房已完成净化装修，相关配套机电设备准备就绪，具备了工艺设备搬入条件，较原计划进度提前1个半月。此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元，将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28~14纳米技术节点。项目计划于2022年年底建成达产，主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造。

未来5个月内，华虹六厂工艺设备将集中搬入，并完成安装调试，今年年底前将完成生产线串线并实现试流片。 （陈炳欣）