专家点评:作为国内领先的12英寸晶圆代工厂和国家“909工程”升级建设的主体,上海华力微电子有限公司自主研发的55纳米SONOS嵌入式闪存工艺,具有高可靠性、超低成本、高良率的特点,各项技术指标和产品市场应用水平已经达到国际先进水平。
技术创新:在55纳米逻辑平台上仅增加了4张光罩,与业界其他量产的55纳米嵌入式闪存技术(需要额外加入9~12张光罩)相比,具有非常强的成本优势。目前成品率已经稳定达到97%,在成本和量产制造方面达到国际先进水平。
设计水平:该工艺是国际上首家量产的55纳米SONOS嵌入式闪存技术,获得发明专利25项,其中国内发明专利23项、国际专利2项,同时发表高质量论文3篇。